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石墨舟裝片房和石墨舟裝載房的主要特點
發(fā)布時間:2023-12-27   瀏覽:365次
石墨舟裝片房和石墨舟裝載房的主要特點

    石墨舟裝片房:用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高速率過濾器,確保吹出的空氣達到凈化要求。


  石墨舟工作原理:


  空氣通過高速率過濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū),從而保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。


  石墨舟主要特點:


  1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位;


  2、采用不銹鋼制造,整機結(jié)構(gòu)堅固可靠;


  3、采用GK系列高速率空氣過濾器3只;


  4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;


  5、凈化風(fēng)機噪音小于50dB。


  6、保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度100級。


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