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新聞資訊
——石墨舟裝片房:用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高速率過濾器,確保吹出的空氣達到凈化要求。
石墨舟工作原理:
空氣通過高速率過濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū),從而保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點:
1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、采用不銹鋼制造,整機結(jié)構(gòu)堅固可靠;
3、采用GK系列高速率空氣過濾器3只;
4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
5、凈化風(fēng)機噪音小于50dB。
6、保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度100級。
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